1.申請人深圳市科技業務管理系統注冊登記并進行網上申報 2.向市科技創新委提交申請材料 3.統計、稅務部門核對數據 4.市科技創新委會同市财政委審定 5.社會公示 6.市科技創新委會同市财政委下達資助資金 7.撥付資金